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ballbet安卓:年产能2000吨极大规划集成电路含氟电子气体完成国产化
发布时间:2024-04-21 01:37:20   来源:ballbet安卓版 作者:ballbet安卓版西甲赞助    点击:62

  

  集微网音讯(文/仍然)8月14日,国务院国资委发布音讯显现,现在,我国化工拂晓化工研讨设计院(以下简称:高纯四氟化碳和六氟化硫的年产能可达2000吨,价格与进口同类产品适当,但性价比高,可彻底完成对进口产品的代替

  我国化工集团有限公司本年6月音讯显现,由我国化工拂晓院承当的国家科技严重专项“极大规划集成电路制造配备与成套工艺”子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研制与中试”近来经过国家严重专项项目组的测验与评定,标志着我国极大规划集成电路职业所需高纯度含氟电子气体完成国产化。

  高纯度含氟电子气体是极大规划集成电路职业必需的清洗和蚀刻气体,在芯片制造过程中保证极大规划集成电路的生成,保证电路有用发挥作用。跟着极大规划集成电路技能的提高,芯片制程向14纳米乃至7纳米跨进,对电子气体的纯度要求越来越高。

  据悉,拂晓院于2013年开端“高纯四氟化碳和六氟化硫研制与中试”的课题研讨,已在多项要害技能上获得打破。其间高纯度四氟化碳和六氟化硫制备过程中微量杂质的纯化、剖析等技能难题得以霸占,制备出的产品纯度达99.999%,推行使用后获得了杰出的商场作用。此外,拂晓院也成功完成由工业级向高纯级、多种类等高功能、高附加值产品的转型晋级和结构调整。(校正/图图)

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